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半自動臺階儀 JS100B

2024-11-15 09:12:41

***產半自動臺階儀JS100B/200B/300B,擁有高精度、高分解能力,搭配***體花崗巖結構,提供穩定可靠的重復性測量。

JS100B提供兩個彩色攝像頭對樣品和針尖同時成像,可無畸變的觀察樣品區,方便定位特征區域,同時探針掃描時可實時觀察掃描區域。

應用范圍

▲ 刻蝕、沉積和薄膜等厚度測量

▲ 薄膜多晶硅等粗糙度、翹曲度等材料表面參數測量

▲ 各式薄膜等應力測量

▲ 3D掃描成像

▲ 計劃任務和多點掃描

系統組成

▲ ***體式臺階儀

選配品

▲ 高度校準標樣

軟件界面

掃描圖

18nm樣品

 68um樣品


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(來源:


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