橢偏儀的核心功能：***種基于橢圓偏振光原理的光學測量儀器，主要用于分析薄膜材料的光學性質(zhì)（如折射率、消光系數(shù)）和物理參數(shù)（如厚度、成分、表面粗糙度等），廣泛應用于薄膜制備、半導體、光學涂層等領域。
       橢偏儀工作原理：
       當***束橢圓偏振光照射到薄膜樣品表面時，反射光的偏振狀態(tài)（振幅和相位）會因薄膜的光學特性發(fā)生變化。橢偏儀通過測量反射光偏振狀態(tài)的變化，結(jié)合光學模型計算，推導出薄膜的厚度、折射率等參數(shù)。
       橢偏儀的優(yōu)點
       - 非接觸、無損測量：無需接觸樣品，不會對薄膜造成物理損傷，適合珍貴或易損樣品（如半導體晶圓、光學涂層）。
       - 高靈敏度：能檢測納米***厚度的薄膜（可低至0.1nm），對薄膜光學性質(zhì)的微小變化敏感，測量精度高。
       - 信息豐富：***次測量可同時獲取薄膜厚度、折射率、消光系數(shù)等多種參數(shù)，無需多次測量。
       - 適用范圍廣：可測量各類薄膜，包括透明、半透明、吸收性薄膜，以及單層或多層薄膜結(jié)構(gòu)。
       - 快速高效：單次測量時間短（通常幾秒到幾分鐘），適合實驗室研發(fā)和生產(chǎn)線在線檢測。
       橢偏儀的缺點
       - 對樣品表面要求高：要求樣品表面平整、均勻，若存在嚴重粗糙或污染，會影響反射光信號，導致測量誤差增大。
       - 依賴光學模型：測量結(jié)果需結(jié)合預設的光學模型（如薄膜層數(shù)、材料特性假設）計算，模型選擇不當可能引入誤差。
       - 成本較高：精密光學部件和控制系統(tǒng)使設備成本較高，維護和校準也需專業(yè)人員操作。
       - 對厚樣品適用性有限：對于過厚的薄膜（通常超過微米***），測量精度可能下降，更適合薄至納米***的薄膜分析。

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