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電子顯微鏡(掃描電鏡、透射電鏡)
德國蔡司Zeiss超高分辨率場發(fā)射掃描電子顯微鏡SUPRA? 40/40VP
價 格：詢價
產 地：德國更新時間：2020-10-20 14:13
品 牌：蔡司型 號：SUPRA? 40/40VP
狀 態(tài)：正常點擊量：2755
400-006-7520
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? 在整個電壓范圍內的超高分辨率，
? 電壓范圍***低至0.1 kV，所需調整極少,
? 高束流，高穩(wěn)定性，
? 高效In-lens二次電子檢測器，可實現高分辨率的表面成像，
? 增強型VPSE探測器，可實現不導電試樣的成像
? 基于Windows? XP的SmartSEM?控制軟件，操作簡便
產品參數
分辨率
SUPRA? 40/40VP | 1.3 nm @ 15 kV 2.1 nm @ 1 kV 5.0 nm @ 0.1 kV 2.0 nm @ 30 kV（VP模式） |
分辨率
SUPRA? 55/55 VP 及 60/60 VP | 1.0 nm @ 15 kV 1.7 nm @ 1 kV 4.0 nm @ 0.1 kV 2.0 nm @ 30 kV（VP模式） |
加速電壓 | 0.1 - 30 kV |
束流 | 4 pA - 10 nA（可選配20 nA） |
放大倍數 | 12 - 900,000x |
電子槍 | 熱場發(fā)射型 |
VP真空度 | 2 - 133 Pa |
標準探測器 | In-lens二次電子探測器與樣品室內ET探測器 VP型號采用VPSE探測器 |
圖象處理 | 7種積分和平均模式 |
系統控制 | 基于Windows?XP的SmartSEM? |
產品介紹
SUPRA?系列產品配備有經過改進的第三代GEMINI?鏡筒、概念新穎的樣品臺、智能化硬件控制板和新型高效率的透鏡內二次電子探測器。
SUPRA?系列場發(fā)射掃描電子顯微鏡是卡爾蔡司半導體事業(yè)部的納米技術系統部向市場推出的功能***多的場發(fā)射掃描電子顯微鏡。具有當前***先進的儀器所具有的所有特征：如在圖像質量***流時的超高分辨率、工作電壓切換方便、出色的束流穩(wěn)定性、全分析型樣品室、通過基于Windows? XP的SmartSEM?控制軟件實現簡便的操作等顯著特點。在研究和發(fā)展的應用中、失效分析和質量保證等方面，SUPRA?系列場發(fā)射掃描電子顯微鏡可提供迅速的、重復性好的、高可靠性的結果。
SUPRA?系列的多種儀器提供了全面的成像解決方案，可滿足半導體、材料分析、藥品制造和生命科學等領域中苛刻的應用要求。對于不導電樣品，采用專利可變壓力（VP）技術的增強型可變壓力二次電子探測器（VPSE）可以得到***流的圖像和分析結果。GEMINI?鏡筒具有無與倫比的成像能力，尤其是在工作電壓低于1kV時成像能力尤為出色，這就使得SUPRA?成為適合所有納米科學應用的成像工具。
SUPRA? 40/40VP
是SUPRA?系列中使用***多的產品，具有大型樣品臺，VP工作模式，尤其適合于失效分析、過程控制和低溫應用。
SUPRA? 55/55VP
SUPRA?系列中多功能的產品，具有超高分辨率與全面分析應用的能力。
WDS系列
適用于SUPRA? 55、SUPRA? 55 VP及ULTRA55
SUPRA? 60/60VP
擁有大樣品室以及6英寸超優(yōu)中心（super eucentric）樣品臺和8英寸樣品預抽室，適合對硅片進行全面的分析，也非常適合需要檢查大型樣品的用戶。
滬公網安備31011502016460號
