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Aera  FC-P2000 系列 質(zhì)量流量控制器

集壓壓感式 MFC

FC-P2000 集壓式 MFC 能夠在廣泛的輸入壓力范圍內(nèi)，準(zhǔn)確控制較低的氣體流量。這使其在安全供給系統(tǒng) (SDS) 應(yīng)用中非常有效。在這類(lèi)應(yīng)用中，氣體來(lái)源壓力會(huì)隨著氣體的消耗而緩慢下降。

FC-P2000 MFC 能夠控制2-4 sccm（N2 當(dāng)量）、低至5 Torr 氣缸壓力的氣體流量，從而能提供高達(dá)95%的氣缸氣體使用率。

優(yōu)勢(shì)：

精確度高

具有成本效益

易于替換現(xiàn)有的 SDS MFC

減少堵塞

特點(diǎn)：

因素噴嘴技術(shù)

FC-P2000 集壓式 MFC 能夠在廣泛的輸入壓力范圍內(nèi)，準(zhǔn)確控制較低的氣體流量。這使其在安全供給系統(tǒng) (SDS) 應(yīng)用中非常有效。在這類(lèi)應(yīng)用中，氣體來(lái)源壓力會(huì)隨著氣體的消耗而緩慢下降。

FC-P2000 MFC 能夠控制2-4 sccm（N2 當(dāng)量）、低至5 Torr 氣缸壓力的氣體流量，從而能提供高達(dá)95%的氣缸氣體使用率。