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測(cè)量功能

FilmTek 1000/1500將SCI的廣義材料模型與先進(jìn)的全局優(yōu)化算法結(jié)合在***起，以便同時(shí)測(cè)定下列薄膜常數(shù)：

多層膜厚

折射系數(shù) [ n(λ) ]

消光 [ k(λ) ]

低成本

FilmTek 1000/1500的價(jià)格是同類儀器相比更具競(jìng)爭(zhēng)力

軟件

FilmTek 1000的測(cè)量分析軟件，無(wú)須薄膜光學(xué)設(shè)計(jì)或測(cè)量技術(shù)方面的經(jīng)驗(yàn)。

美***SCI Filmtek 1000薄膜測(cè)厚儀

FilmTek 1000系列是***種精確和負(fù)擔(dān)得起的解決方案，用于薄膜厚度和折射率的常規(guī)測(cè)量。它將光纖分光光譜儀與直觀、高性能的材料建模軟件相結(jié)合，使日常測(cè)量任務(wù)更加可靠、簡(jiǎn)單。

FilmTek 1000的配置包括***個(gè)小的光斑，配備手動(dòng)或可選的自動(dòng)XY平臺(tái)，以適應(yīng)75-300毫米晶圓尺寸。FilmTek 1500可以測(cè)量透射和反射方式測(cè)量，是透明襯底的理想之選。

FilmTek軟件包括完全用戶定制的映射功能，可以快速生成任何測(cè)量參數(shù)的2D和3D數(shù)據(jù)映射。除了用戶定義的模式外，標(biāo)準(zhǔn)模式還包括極模式、x-y模式、rθ模式或線性模式。