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MicronX 設計的有如下特點：
精密的光學系統
變焦， 激光輔助聚焦， 和計算機發生的十字線能對極小的部件和結構精密定位。
應用界面的設計者
用戶可用圖標板創建專用的應用界面。
報告樣板
創建用戶的報告格式或者摁***鍵選用***種專業的質量報告。
XYZ樣品臺和2M/3M分布圖
可編程選項和部件固定的自動成批測量。
圖案識別
自動快速和精確。
統計工具
包括平均值， 標準偏差， 百分偏差，Pp/Ppk， Min/Max， 直方圖, 趨勢線，和R-圖。 可將數據傳入Excel和其它程序。
部件號編碼
可選用部件號或工號為應用編碼。
 

更小,更快,更薄
MicronX系統是專門為靈活應用設計的強有力的測量工具。使用Thermo獨創的， 技術先進的硬件和軟件， MicronX系統能夠比其它EDXRF儀器測量更小的面積， 更薄的鍍層并且更快。 MicronX系統能夠接受***多的金屬薄膜測量的挑戰。
X-射線能譜技術方面幾十年的經驗帶來了微束X-射線熒光的幾點創新：
激發光束的光學準直器可以獲得***束特別明亮的的微束X-射線照在樣品表面
靈活和精密的樣品定位
***新的X-射線檢測技術
綜合， 易用的操作界面和應用軟件
X-射線束準直
光學準直
這***革命性的技術發出小至 20微米， 強度和精度為傳統儀器的1000倍。 強度的增加可以減少測量時間—比機械準直快100倍并且精度提高10倍。 光學準直對微束應用是極為重要的， 因為高精度和快速對它是基本的。
精密樣品定位
伺服驅動的樣品臺
為了高精度的樣品定位，MicronX系統采用線性編碼伺服驅動的X-Y-Z樣品臺。 定位精度可以達到+/-5或+/-2微米。
硅片樣品臺有適合于125 mm至300 mm大小硅片的許多插板選購件， 樣品臺的行程能達到300 mm硅片的任何***點。
專利的真空環境
Thermo專利的真空導管技術包括X-射線束發生和檢測系統， 而樣品在空氣中。 這種獨有的設計創造了***種和樣品室全部抽真空可以比擬的分辨率和靈敏度， 而且樣品操作快速， 方便。