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性能特點

兼容TIC渦輪儀表控制器。

多種通訊模式。

并口，用于傳統(tǒng)控制信號接口。

串口，用于RS-232接口。

通過RS-232接口，用戶可以設(shè)置各種參數(shù)RS-232。

帶有放氣閥。

正常泵速顯示。

準(zhǔn)備轉(zhuǎn)速顯示。

可編程功耗調(diào)整。

泵溫指示。

增強型泵速、功耗、溫度監(jiān)測。

Edwards  EXT系列復(fù)合渦輪分子泵

BOC Edwards EXT泵適用于除***苛刻的半導(dǎo)體應(yīng)用和科學(xué)應(yīng)用（這些領(lǐng)域可使用STP系列泵）以外的任何領(lǐng)域。EXT系列***般使用球形氮化硅陶瓷軸承和磁懸浮軸承的組合形式。陶瓷軸承與傳統(tǒng)軸承相比具有更輕、更硬和更平穩(wěn)的優(yōu)點，以及壽命長、小振動的優(yōu)點。由于軸承滾珠和軸承座使用了不同材料，防止了微小凹陷而提高可靠性。

BOC Edwards EXT系列渦輪分子泵可以通過TIC控制器或EXC控制器控制。 TIC控制器將渦輪控制和儀器控制合二為***，使用起來更加方便。OEM或有電源的***終用戶可以使用EXC控制器在自己的系統(tǒng)中控制EXT渦輪，這可以降低成本。另外還具有如下優(yōu)點：無油（渦輪分子泵不產(chǎn)生碳氫化合物污染）；低維護（無軸承接觸，無機械磨損）；低振動（比***般軸承的振動低***個數(shù)量***）；減少冷卻（對許多應(yīng)用來說自然冷卻即可）；定位任意（可以安裝在任意位置）。