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微米膜厚測量儀 C11011-21

• 詳細介紹

• 詳細參數

  型號	C11011-21
  可測膜厚范圍（玻璃）	25 μm to 2200 μm*1
  光源	Infrared LD （1300 nm)
  光斑尺寸	Approx. φ60 μm*4
  工作距離	155 mm*4
  可測層數	Max. 10 layers
  分析	Peak detection
  測量時間	16.7 ms/point*5
  外部控制功能	RS-232C, Ethernet
  電源	AC100 V to AC240 V, 50 Hz/60 Hz
  功耗	Approx. 50 VA
  接口	USB 2.0 (Main unit - Computer)
  可測膜厚范圍（硅）	10 μm to 900 μm*2
  測量可重復性（硅）	100 nm*3
  測量準確度（硅）	< 500 μm: ±0.5 μm, > 500 μm: ±0.1 %*3

  
  

  * 1：玻璃折射率相同。 
  
  * 2：硅折射率相同。 
  
  * 3：測量硅時為標準偏差。 
  
  * 4：可選1000毫米工作距離的型號。 （型號C11011-01WL） 
  
  * 5：***短曝光時間。

  產品特性

  ● 利用紅外光度測定進行非透明樣品測量 
  

  
  

  ● 測量膜厚度范圍（玻璃）：25μm-2200μm 
  

  
  

  ● 測量速度高達60 Hz 
  

  
  

  ● 可測量層數：10層 
  

  
  

  ● 測量帶圖紋晶圓或帶保護膜的晶圓 
  

  
  

  ● 工作距離長 

  
  

  ● Mapping功能 
  

  
  

  ● 可外部控制

  外形尺寸（單位：mm）

  

  

  
  

• 產品優勢

• 
  

  C11011-21型光學微米膜厚測量儀利用激光干涉法原理，測量速度達60Hz，適用于產品在線測量。此外，選配的作圖系統可以用于測量指定樣品的厚度分布。C11011-01W應用廣泛，比如用于產品制造過程監控或質量控制。

  
  

  C11011-21可測玻璃膜厚范圍分別為25 μm 到2200 μm 和10 μm 到 900 μm，可測層數zui多為10層。