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微米膜厚測量儀 C11011-21

價  格:詢價

產  地:更新時間:2020-12-15 10:34

品  牌:其他型  號:C11011-21

狀  態:正常點擊量:1458

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產品參數


產品介紹

微米膜厚測量儀 C11011-21

  • 詳細介紹

  • 詳細參數

    型號C11011-21
    可測膜厚范圍(玻璃)25 μm to 2200 μm*1
    光源Infrared LD (1300 nm)
    光斑尺寸Approx. φ60 μm*4
    工作距離155 mm*4
    可測層數Max. 10 layers
    分析Peak detection
    測量時間16.7 ms/point*5
    外部控制功能RS-232C, Ethernet
    電源AC100 V to AC240 V, 50 Hz/60 Hz
    功耗Approx. 50 VA
    接口USB 2.0 (Main unit - Computer)
    可測膜厚范圍(硅)10 μm to 900 μm*2
    測量可重復性(硅)100 nm*3
    測量準確度(硅)< 500 μm: ±0.5 μm, > 500 μm: ±0.1 %*3


    * 1:玻璃折射率相同。 

    * 2:硅折射率相同。 

    * 3:測量硅時為標準偏差。 

    * 4:可選1000毫米工作距離的型號。 (型號C11011-01WL) 

    * 5:***短曝光時間。

    產品特性

    ● 利用紅外光度測定進行非透明樣品測量 


    ● 測量膜厚度范圍(玻璃):25μm-2200μm 


    ● 測量速度高達60 Hz 


    ● 可測量層數:10層 


    ● 測量帶圖紋晶圓或帶保護膜的晶圓 


    ● 工作距離長 


    ● Mapping功能 


    ● 可外部控制

    外形尺寸(單位:mm)


  • 產品優勢


  • C11011-21型光學微米膜厚測量儀利用激光干涉法原理,測量速度達60Hz,適用于產品在線測量。此外,選配的作圖系統可以用于測量指定樣品的厚度分布。C11011-01W應用廣泛,比如用于產品制造過程監控或質量控制。


    C11011-21可測玻璃膜厚范圍分別為25 μm 到2200 μm 和10 μm 到 900 μm,可測層數zui多為10層。




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