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光學NanoGauge C10178-03J

價  格:詢價

產  地:更新時間:2020-12-15 10:36

品  牌:其他型  號:C10178-03J

狀  態:正常點擊量:2789

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產品參數


產品介紹

光學NanoGauge C10178-03J

  • 詳細參數

    型號C10178-03J
    可測膜厚范圍(玻璃)150 nm to 50 μm*1
    測量可重復性(玻璃)0.05 nm*2 *3
    測量準確性(玻璃)±0.4 %*3 *4
    光源Halogen light source
    光斑尺寸Approx. φ1 mm*3
    工作距離10 mm*3
    可測層數Max. 10 layers
    分析FFT analysis, Fitting analysis, Optical constant analysis
    測量時間19 ms/point*5
    光纖連接頭φ12 sleeve shape
    外部控制功能RS-232C, PIPE, Ethernet
    電源AC100 V to AC120 V , 50 Hz/60 Hz
    功耗Approx. 230 VA
    測量波長范圍900 nm to 1650 nm
    測量模式(特征)supports NIR


    *1 轉換時玻璃的折射率是1.5 

    *2 測量400 nm玻璃薄膜厚度時為標準偏差(公差) 

    *3 取決于光學系統或物鏡放大倍數 

    *4 測量保證范圍同VLSI標準測量保證文件***致 

    *5 ***短曝光時間

    產品特性

    ● 高速、高準確性(可測膜厚范圍(玻璃):150 nm-50μm)


    ● 實時測量 


    ● 非恒定膜層的精確測量 


    ● 分析光學常量(n, k) 


    ● 可外部控制 


    ● 可以使用特定附件測量量子產率,反射率,透射率和吸收率

    外形尺寸(單位:mm)





  • 產品優勢


  • C10178型光學納米膜厚測量系統是***款利用光譜干涉法測量薄膜厚度的非接觸式測量系統。光譜干涉法可以快速、高精度以及高靈敏度地測量出薄膜厚度。C13027使用多通道光譜儀PMA作為檢測器,測量各種光學濾光片和涂膜厚度的同時還可以測量量子產率,反射率,透射/吸收率等參數。



    C10178-03J支持NIR(900 nm至1650 nm)。





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