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產(chǎn)品介紹：

NX5000新型高分辨FIB-SEM雙束系統(tǒng)采用冷場(chǎng)發(fā)射電子槍和全新的Aquila α鏡筒，具有高分辨的觀察能力；同時(shí)大束流的離子槍和實(shí)時(shí)觀察功能使其具有超高的加工效率。獨(dú)特的第三束（Ar）加工可以避免樣品損傷，為超薄樣品和復(fù)雜的制備提供了新的解決方案，可以滿足納米材料、半導(dǎo)體材料、生物材料等多種樣品的快速、無(wú)損、精細(xì)加工。

主要特點(diǎn)：

1.      高分辨冷場(chǎng)發(fā)射電子槍，實(shí)現(xiàn)高分辨觀察（0.7nm@15kV）

2.      全新的Aquila α鏡筒和多探測(cè)器實(shí)現(xiàn)不同觀察目的

3.      大束流（100nA）、高穩(wěn)定性離子槍實(shí)現(xiàn)快速加工

4.      實(shí)時(shí)觀察、多探針系統(tǒng)和7軸樣品臺(tái)等技術(shù)有效防止窗簾效應(yīng)

5.      第三束Ar的引入實(shí)現(xiàn)無(wú)損和超薄樣品的加工

6.      多種沉積氣體可選

7.      全自動(dòng)TEM樣品制備

應(yīng)用領(lǐng)域：

納米材料微加工

半導(dǎo)體及電子元器件加工

生命科學(xué)