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HORIBA JY在線橢偏儀 In-situ series

價  格:詢價

產  地:更新時間:2021-01-18 16:44

品  牌:型  號:In-situ series

狀  態:正常點擊量:1361

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儀器介紹:
在鍍膜或刻蝕的過程中,實時監測樣品膜的膜厚以及光學常數(n,k)變化。
 
技術參數:
?可實現快速、實時在線監測樣品膜層變化
 
主要特點:
將激發和探測頭引入生產設備,可實現:
? 動態模式:實時監測膜厚變化
? 光譜模式:監測薄膜的界面和組分


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