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全自動高精度穆勒矩陣型橢偏儀

價  格:詢價

產  地:更新時間:2021-01-18 16:45

品  牌:型  號:ME-L

狀  態:正常點擊量:2838

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上海非利加實業有限公司

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配送方式: 上海自提或三方快遞

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產品簡介:ME-L是***款科研***全自動高精度穆勒矩陣型橢偏儀,凝聚了科研團隊在橢偏技術多年的投入,其采用行業前沿的創新技術,包括消色差補償器、雙旋轉補償器同步控制、穆勒矩陣數據分析等。可應用于半導體薄膜結構,半導體周期性納米結構,新材料,新物理現象研究,平板顯示,光伏太陽能,功能性涂料,生物和化學工程,塊狀材料分析以及各種各向同性/異性薄膜材料膜厚、光學納米光柵常數以及***維/二維納米光柵材料結構的表征分析。

雙旋轉補償器(DRC)配置***次測量全部穆勒矩陣16個元素;配置自動變角器、五維樣件控制平臺等優質硬件模塊,軟件交互式界面配合輔助向導式設計,易上手、操作便捷;豐富的數據庫和幾何結構模型庫,保證強大數據分析能力。

 

產品型號

ME-L全自動高精度穆勒矩陣型橢偏儀

主要特點

1、采用氘燈和鹵素燈復合光源,光譜覆蓋紫外到近紅外范圍 (193-2500nm)

2、可實現穆勒矩陣數據處理,測量信息量更大,測量速度快、數據更加***

3、基于雙旋轉補償器配置,可***次測量獲得全部穆勒矩陣的16個元素,相對傳統光譜橢偏儀可獲取更加豐富全面的測量信息

4、頤光技術確保在寬光譜范圍內,提供優質穩定的各波段光譜

5、數百種材料數據庫、多種算法模型庫,涵蓋了目前絕大部分的光電材料

6、集成對納米光柵的分析,可同時測量分析納米結構周期、線寬、線高、側壁角、粗糙度等幾何形貌信息

技術參數

1、應用:科研***/企業***

2、基本功能:Psi/Delta、R/T、穆勒矩陣等光譜

3、分析光譜:380-1000nm(支持擴展至210-1650nm)

4、單次測量時間:1-8s

5、重復性測量精度:0.005nm

6、絕對精度(直通測量空氣)

  橢偏參數:ψ=45±0.05°△=0±0.1°

  穆勒矩陣:對角元素m=1±0.005;非對角元素m=0±0.005

7、光斑大小:大光斑2-3mm;微光斑200μm

可選配置

波段選擇

V:380-1000nm

UV:245-1000nm

XN:210-1650nm

DN+:193-2500nm

角度選擇

自動:45-90°

手動:55-75°(5°步進),90°

固定:65°

其他選擇

Mapping選擇:100×100mm(供參考,按需定制)

溫控臺:室溫***600C(供參考,按需定制)

可選配件

1

溫控臺

2

Mapping擴展模塊

3

真空泵

4

透射吸附組件



產品參數


產品介紹



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