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美國(guó)OAI 458用于高強(qiáng)度步進(jìn)式晶片曝光機(jī)的紫外線高強(qiáng)度和能量計(jì)

價(jià)  格:詢價(jià)

產(chǎn)  地:更新時(shí)間:2021-01-19 10:32

品  牌:型  號(hào):OAI 458

狀  態(tài):正常點(diǎn)擊量:2191

400-006-7520
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 美***OAI公司458型紫外光度計(jì)
用于高強(qiáng)度步進(jìn)式晶片曝光機(jī)的紫外線高強(qiáng)度和能量計(jì)

基于微處理器的458型紫外線光強(qiáng)和能量系統(tǒng)準(zhǔn)確地測(cè)量曝光能量(劑量),以評(píng)估步進(jìn)器的性能。它設(shè)計(jì)用于ASML高強(qiáng)度、佳能、尼康和超技術(shù)高強(qiáng)度晶片步進(jìn)器。讀取365、400、420和436 nm波長(zhǎng)的強(qiáng)度、能量和時(shí)間(4000 mW/cm²、999.9 mJ/cm²)。可選的RS232電纜可與458軟件***起工作,將測(cè)量數(shù)據(jù)發(fā)送到計(jì)算機(jī)。

應(yīng)用

458型非常適合各種需要精確測(cè)量紫外線能量的行業(yè),適用于任何需要重復(fù)、可靠的紫外線測(cè)量的應(yīng)用。特別適合于芯片生產(chǎn)中的需要。

硬件特點(diǎn):

平均至多9次曝光

數(shù)字顯示提供清晰、NIST可追蹤的測(cè)量結(jié)果

測(cè)量強(qiáng)度、時(shí)間和能量

記錄***系列曝光的偏差百分比

探針波長(zhǎng)顯示有助于防止設(shè)置錯(cuò)誤

簡(jiǎn)單的按鈕操作提供可靠的結(jié)果

下載并記錄分析儀測(cè)量結(jié)果的RS 232輸出

可拆卸探針,以匹配許多光敏電阻的光譜響應(yīng)。

顯示讀數(shù)可能凍結(jié)

前面板提醒提示用戶

堅(jiān)固的鋁制外殼,手柄和探針袋方便攜帶

 

備注:365、400、420和436 nm傳感器根據(jù)自己的需要選擇***個(gè)要單獨(dú)購買;R-232線纜(只有購買線纜,才可進(jìn)行數(shù)據(jù)下載)也要單獨(dú)購買。
     主機(jī)和探頭定期(1-2年)進(jìn)行校準(zhǔn),目前只能返廠校準(zhǔn),有費(fèi)用產(chǎn)生。

產(chǎn)品參數(shù)


產(chǎn)品介紹




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