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紫外雙面光刻機型紫外單面光刻機

價  格:詢價

產  地:更新時間:2021-01-19 15:35

品  牌:型  號:URE-2000S/25A

狀  態:正常點擊量:2340

400-006-7520
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上海非利加實業有限公司

聯 系 人: 上海非利加實業有限公司

電   話: 400-006-7520

傳   真: 400-006-7520

配送方式: 上海自提或三方快遞

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URE-2000S/25A 型紫外雙面光刻機

 

技術參數

。曝光面積:6 英寸

。曝光波長:365nm:

。功率密度:>25mW/cm2

。分辨力:1 μm

。正面雙目雙視場對準顯微鏡:

既可通過目鏡目視對準,也可通過 CCD+顯示器對準,光學合像,光學倍數 400 倍,光學+電子放大 800倍,物鏡三對:4 倍、10 倍、20 倍;目鏡三對:4 倍、10 倍、20 倍

。正面立式雙 CCD 對準系統,光學放大,0.65-4.5 倍;具備側向光源

。底面面對準:采用雙顯微物鏡+CCD+采集卡+計算機合像,物鏡軸距范圍 10mm-148mm

。對準精度:±2 μm(雙面,片厚 0.8mm),±0.8 μm(單面)

。掩模尺寸:3 英寸、4 英寸、5 英寸、7 英寸

。樣片尺寸::2 英寸、3 英寸、4 英寸、6 英寸,厚度 0.1mm--2mm(雙面)

。曝光方式:定時(***方式)和定劑量

。照明不均勻性: 2.5%( Ф100mm 范圍),4%( Ф150 mm 范圍)13

。掩模相對于樣片運動行程:

      X: ±5mm; Y: ±5mm; Thelta: ±6 度

。汞燈功率:350W(直流,進口)

。調平接觸壓力通過傳感器保證重復

。數字設定對準間隙和曝光間隙

。具備壓印模塊接口,也具備接近模塊接口

。膠厚:350  μm(SU8 膠,用戶提供檢測條件)

。光源平行性:3.5°

 

外形尺寸:1300mm(長)x900mm(寬) x1800mm(高)

 

配置

(1)曝光頭

。冷光橢球鏡

。350 W 進口直流高壓汞燈(德***歐司朗)

。XYZ 汞燈調節臺

。冷卻風扇

。光學系統:固定光欄、可變光欄、快門、準直鏡鏡 1、準直鏡鏡 2、蠅眼透鏡組(79 個透鏡)、i 線濾光片、場鏡1、冷光反射鏡 1、反射鏡 2

 

(2)對準工件臺

。掩模樣片相對運動臺

。轉動臺

。樣片調平機構,自動完成

。樣片調焦機構,氣缸自動調

。承片臺 4 個(2 英寸、3 英寸、4 英寸、6 英寸)

。掩模夾 4 個(3 英寸、4 英寸、5 英寸、7 英寸)

。掩模抽拉式上下機構

 

(3)雙目雙視場對準顯微鏡(帶 CCD,目鏡和監視器可同時觀測)

。光源、電源

。雙目雙視場對準顯微鏡主體

。目鏡 3 對(10 倍、16 倍、20 倍,共 6 個)

。物鏡 3 對(4 倍、10 倍、20 倍,共 6 個)

。立式雙 CCD 光學對準系統 14

。側向對準光源

 

(4)底面 CCD 對準系統

。光源、電源

。成像光學系統

。數據采集卡

。CCD

 

(5)電控系統

。汞燈觸發電源(350W 直流汞燈)

。單片機控制系統

??刂乒褡?/span>

。計算機系統(21 英寸寬屏液晶顯示器)

 

(6)氣動系統

。氣缸、電磁閥、減壓閥、氣動開關等

。電磁閥驅動

。氣動儀表

 

(7)其他附件

。真空泵***臺(無油泵)

??諌簷C***臺 (音靜泵)

。管道


產品參數


產品介紹



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