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型紫外單面光刻機

價  格:詢價

產  地:更新時間:2021-01-19 15:35

品  牌:型  號:URE-2000/25

狀  態:正常點擊量:2298

400-006-7520
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上海非利加實業有限公司

聯 系 人: 上海非利加實業有限公司

電   話: 400-006-7520

傳   真: 400-006-7520

配送方式: 上海自提或三方快遞

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URE-2000/25 型紫外單面光刻機

 

技術參數

。曝光面積:4 英寸

。曝光波長:365nm

。分辨力:1 μm(膠厚 2 μm的正膠)

。對準精度:± 0.8μm

。掩模樣片整體運動范圍:X:15mm;Y:15mm

。掩模尺寸:2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸

。樣片尺寸:直徑 Ф15mm-- Ф100mm(各種不規則片),厚度 0.1mm--6mm

。曝光方式:定時(***方式)和定劑量

。照明不均勻性: 3%( Ф100mm 范圍)

。雙目雙視場對準顯微鏡:既可通過目鏡目視對準,也可通過 CCD+顯示器對準,光學合像,光學倍數 400 倍, 光學+電子放大 800 倍

                        物鏡三對:4 倍、10 倍、20 倍

                        目鏡三對:4 倍、10 倍、20 倍

。掩模相對于樣片運動行程:

       X: ±5mm; Y: ±5mm; Thelta: ±

。焦厚:350μm(SU8 膠,用戶提供檢測條件)

。光源平行性:3.5 º

。曝光能量密度:>20mW/cm2,照明面溫度<35 º

。汞燈功率:350W(直流,進口)33

 

2.外形尺寸:1200mm(長)x900mm(寬) x1750mm(高)

 

3.配置

(1)曝光頭

。冷光橢球鏡

。350W 進口直流高壓汞燈(德***歐司朗)

。XYZ 汞燈調節臺

。冷卻風扇

。光學系統:固定光欄、可變光欄、快門、準直鏡鏡 1、準直鏡鏡 2、蠅眼透鏡組(79 個透鏡)、i 線濾光片、場鏡1、場鏡 2、冷光反射鏡 1、反射鏡 2

 

(2)對準工件臺

。掩模樣片整體運動臺

。掩模樣片相對運動臺

。轉動臺

。樣片調平機構, 手動

。樣片調焦機構,手動

。承片臺 3 個(Ø50mm 、Ø75mm 、 Ø100mm)

。掩模夾 4 個(2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸)

。基片抽拉式上下機構

 

(3)對準顯微鏡

。光源(配備品 2 只)、電源

。雙目雙視場對準顯微鏡主體

。目鏡 3 對(10 倍、16 倍、20 倍,共 6 個)

。CCD 及 21 英寸液晶顯示器

。物鏡 3 對(4 倍、10 倍、20 倍,共 6 個)

 

(4)電控系統

。汞燈觸發電源(350W 直流汞燈)

。單片機控制系統

。控制箱

 

(5)氣動系統

。氣缸、電磁閥、減壓閥、氣動開關等

。電磁閥驅動

。氣動儀表

 

(6)其他附

。真空泵***臺

。空壓機***臺

。管道


產品參數


產品介紹



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