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紫外雙面光刻機

價  格:詢價

產(chǎn)  地:更新時間:2021-01-19 15:35

品  牌:型  號:URE-2000S/25 型

狀  態(tài):正常點擊量:2276

400-006-7520
聯(lián)系我時,請說明是在上海非利加實業(yè)有限公司上看到的,謝謝!

上海非利加實業(yè)有限公司

聯(lián) 系 人: 上海非利加實業(yè)有限公司

電   話: 400-006-7520

傳   真: 400-006-7520

配送方式: 上海自提或三方快遞

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URE-2000S/25 型紫外雙面光刻機

技術(shù)參數(shù)

。曝光面積:4 英寸

。曝光波長:365nm: 40mW/cm,405nm:20-45mW/cm2

。分辨力:1μm

。正面對準(zhǔn)采用雙目雙視場對準(zhǔn)顯微鏡:既可通過目鏡目視對準(zhǔn),也可通過 CCD+顯示器對準(zhǔn),光學(xué)合像,光學(xué)倍數(shù) 400 倍,光學(xué)+電子放大 800 倍

             物鏡三對:4 倍、10 倍、20 倍

             目鏡三對:4 倍、10 倍、20 倍

。底面面對準(zhǔn):采用雙顯微物鏡+CCD+采集卡+計算機合像,物鏡軸距范圍 10mm-148mm

。對準(zhǔn)精度:±2μm(雙面,片厚 0.8mm),±0.6μm(單面)

。掩模尺寸: 3 英寸、4 英寸、5 英寸

。樣片尺寸:2 英寸、3 英寸、4 英寸

        厚度 0.1mm--2mm(雙面)

。曝光方式:定時(***方式)和定劑量

。照明不均勻性: 3%( Ф 100mm 范圍)16

。掩模相對于樣片運動行程:

     X: ±5mm; Y: ±5mm; Thelta: ±6 度

。汞燈功率:350W(直流,進口)

。調(diào)平接觸壓力通過傳感器保證重復(fù)

。數(shù)字設(shè)定對準(zhǔn)間隙和曝光間隙

。具備壓印模塊接口,也具備接近模塊接口

。膠厚:350 μm(SU8 膠,用戶提供檢測條件)

。光源平行性:3.5°

 

外形尺寸:1300mm(長)x900mm(寬) x1800mm(高)

 

配置

(1)曝光頭

。冷光橢球鏡

。350 W 進口直流高壓汞燈(德***歐司朗)

。XYZ 汞燈調(diào)節(jié)臺

。冷卻風(fēng)扇

。光學(xué)系統(tǒng):固定光欄、可變光欄、快門、準(zhǔn)直鏡鏡 1、準(zhǔn)直鏡鏡 2、蠅眼透鏡組(79 個透鏡)、i 線濾光片、場鏡1、冷光反射鏡 1、反射鏡 2

 

(2)對準(zhǔn)工件臺

。掩模樣片相對運動臺

。轉(zhuǎn)動臺

。樣片調(diào)平機構(gòu),自動完成

。樣片調(diào)焦機構(gòu),氣缸自動調(diào)

。承片臺 3 個(2 英寸、3 英寸、4 英寸)

。掩模夾 3 個(3 英寸、4 英寸、5 英寸)

。掩模抽拉式上下機構(gòu)

 

(3)雙目雙視場對準(zhǔn)顯微鏡(可以選擇帶 CCD 型,目鏡和監(jiān)視器可同時觀測)

。光源、電源

。雙目雙視場對準(zhǔn)顯微鏡主體

。目鏡 3 對(10 倍、16 倍、20 倍,共 6 個)

。物鏡 3 對(4 倍、10 倍、20 倍,共 6 個)17

。CCD 光學(xué)系統(tǒng)(選配件)

。XYZ 底面對準(zhǔn)工件臺

 

(4)底面 CCD 對準(zhǔn)系統(tǒng)

。光源、電源

。成像光學(xué)系統(tǒng)

。數(shù)據(jù)采集卡

。CCD

 

(5)電控系統(tǒng)

。汞燈觸發(fā)電源(350W 直流汞燈)

。單片機控制系統(tǒng)

。控制柜桌

。計算機系統(tǒng)(21 英寸寬屏液晶顯示器)

 

(6)氣動系統(tǒng)

。氣缸、電磁閥、減壓閥、氣動開關(guān)等

。電磁閥驅(qū)動

。氣動儀表

 

(7)其他附件

。真空泵***臺(無油泵)

。空壓機***臺 (音靜泵)

。管道


產(chǎn)品參數(shù)


產(chǎn)品介紹




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