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OAI Model 6000 紫外光刻機

價  格:詢價

產  地:更新時間:2021-01-19 15:35

品  牌:型  號:

狀  態:正常點擊量:2610

400-006-7520
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上海非利加實業有限公司

聯 系 人: 上海非利加實業有限公司

電   話: 400-006-7520

傳   真: 400-006-7520

配送方式: 上海自提或三方快遞

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OAI 掩膜光刻機 Model 6000型的特點和優點
 

•高吞吐量(180 wph,第 ***掩模模式)和生產和研發的運行成本

•ABO光學與光均質器,以實現所需各種電阻的分辨率和曝光

•用于大深度Foucs的特殊光學

•靈活處理基板從2“平方到12”平方

•可手動或自動上料

 

配置。

•系統配置頂部和/或底部側面/ IR 自動對準Vision ProR軟件

•適用于各種基材尺寸和類型

•基于Windows的軟件

•菜單驅動的GUI與工藝配方存儲

•全場曝光,提高吞吐量

•頂部加載口罩支架,方便,快速,安全的口罩更換

•可選全球調平零接觸處理

•雙臂4軸機器人搬運系統(可選)

•自調平工裝隔振

•卓越的服務支持(約95%的服務水平)

 

Mask Aligner - Model 6000 Features and Benefits

• High throughput (180 wph, first mask mode) and Lowest Cost of operation for production and R&D
• ABO Optics with light homogenizer to achieve required resolutions & exposures for various resists
• Special Optics for Large Depth of Foucs
• Flexibility with substrate handling from 2”sq to 12”sq
• Comes in manual loading or automated loading configurations.
• System configuration with top and/or bottom side / IR auto alignment with Cognex Vision ProR Software
• Adaptable to various substrate sizes and types
• Windows based software
• Menu driven GUI with process recipe storage
• Full field exposure for higher throughput
• Top load mask holder for easy, fast and safe mask replacements
• Optional Global leveling for zero contact processing
• Dual arm 4-axis robot handling system (optional)
• Self leveling tooling vibration isolation
• Superior service support (~95% service level)


產品參數


產品介紹



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