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OAI Model 212 型紫外光刻機

價  格:詢價

產  地:更新時間:2021-01-19 15:35

品  牌:型  號:

狀  態:正常點擊量:1984

400-006-7520
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上海非利加實業有限公司

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電   話: 400-006-7520

傳   真: 400-006-7520

配送方式: 上海自提或三方快遞

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OAI Model 212型紫外光刻機

 

。輸出光譜范圍:Hg: G(436nm),H(405nm),I(365nm)和310nm,Hg-Xe: 260 nm和220 nm或LED:365 nm、395 nm和405 nm

。燈功率范圍從1000到5000 w

。選擇UVLED (365 nm和405 nm)光源

。基片尺寸范圍從12“dia平方

。特殊12“x 12”和3毫米厚玻璃基板

。互換拋擲和面具

。空氣軸承真空吸盤

。接近(15-20umgap): & lt; 3.0 - 5.0,柔軟觸點:2.0um,硬觸點:1um和真空接點:≤0.5um

。對齊模塊X, Y,和Z軸和θ

。雙通道光學反饋

。只提供正面接觸w / IR選項

。僅在桌面選項可用,適用于研發和獨立的工作

。占用空間小

。適用于生物學、微機電系統、半導體和Microfludics CLiPP應用程序

 


Model 212 Table Top Mask Aligner System


。 Output Spectra Range: Hg: G (436nm), H (405nm), I(365nm) and 310nm lines, Hg-Xe: 260nm and 220nm or LED: 365nm, 395nm and 405nm
。 Lamp Power range from 1000 to 5000W
。 Option for UVLED (365nm and 405nm) Light Source
。 Substrate sizes range from 12” dia to sq
。 Special 12” x 12” and up to 3mm thick Glass Substrates
。 Interchangeable chucks and mask holders
。 Air bearing vacuum chuck
。Proximity (15-20umgap ): <3.0 – 5.0um, Soft Contact: <2.0um, Hard contact: 1um and vacuum contact : ≤ 0.5um
。 Alignment module X, Y, and Z axis and theta
。 Dual-channel optical feedback
。 Provides Front side exposure only w/ IR Option
。 Available in Table top option only and applicable for R&D and standalone work
。 Small Footprint
。 Applicable for Biology, MEMS, Semiconductor and Microfludics, CLiPP applications


產品參數


產品介紹



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