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英國Nanobean 電子束光刻機

價  格:詢價

產  地:更新時間:2021-01-19 15:36

品  牌:型  號:NB5

狀  態:正常點擊量:2959

400-006-7520
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上海非利加實業有限公司

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電   話: 400-006-7520

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配送方式: 上海自提或三方快遞

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 英***Nanobean NB5 電子束光刻機


具有良好的穩定性,平均正常運行時間超過93%

 

規格:

束流電壓范圍為: 20kV - 100kV

光刻膠的特征尺寸: <8nm (光刻精度)

500um區域拼接/疊加誤差: 小于25nm

自動裝載5卡盤氣鎖系統

 

NB5發展目標:

改進設計和組件以減少日常服務需求。

實現每年少于5%的機器故障停機時間。

提高性能

便于批量生產。

 

NB5系統將為進***步發展高偏轉速度和進***步集成電子提供平臺。

The nB4 is a generation ahead of the current competition and with its field-proven performance has gained acceptance in the market place. It has excellent stability and has demonstrated an average uptime of greater than 93%. NanoBeam now introduces the nB5 which has been developed to further reduce delivery times and service costs.

 

NB5 development aims:

Refine design and components to reduce routine service requirements.
Achieve a machine-fault-downtime of less than 5% annually.
Enhance performance
Facilitate volume production.
Specification:

Beam Voltage range        20kV - 100kV
Feature size on resist      <8nm
Stitching/overlay error    <25nm for 500um field
Automatic loading            5 chuck airlock system

The nB5 system will provide a platform for further development to high deflection speed and further integrated electronics.

 


產品參數


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