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英國(guó)Nanobean 電子束光刻機(jī)

價(jià)  格:詢價(jià)

產(chǎn)  地:更新時(shí)間:2021-01-19 15:36

品  牌:型  號(hào):Photonic Professional GT2

狀  態(tài):正常點(diǎn)擊量:2613

400-006-7520
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上海非利加實(shí)業(yè)有限公司

聯(lián) 系 人: 上海非利加實(shí)業(yè)有限公司

電   話: 400-006-7520

傳   真: 400-006-7520

配送方式: 上海自提或三方快遞

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英***Nanobean NB5 電子束光刻機(jī)

具有良好的穩(wěn)定性,平均正常運(yùn)行時(shí)間超過(guò)93%

 

規(guī)格:

束流電壓范圍為: 20kV - 100kV

光刻膠的特征尺寸: <8nm (光刻精度)

500um區(qū)域拼接/疊加誤差: 小于25nm

自動(dòng)裝載5卡盤(pán)氣鎖系統(tǒng)

 

NB5發(fā)展目標(biāo):

改進(jìn)設(shè)計(jì)和組件以減少日常服務(wù)需求。

實(shí)現(xiàn)每年少于5%的機(jī)器故障停機(jī)時(shí)間。

提高性能

便于批量生產(chǎn)。

 

NB5系統(tǒng)將為進(jìn)***步發(fā)展高偏轉(zhuǎn)速度和進(jìn)***步集成電子提供平臺(tái)。

The nB4 is a generation ahead of the current competition and with its field-proven performance has gained acceptance in the market place. It has excellent stability and has demonstrated an average uptime of greater than 93%. NanoBeam now introduces the nB5 which has been developed to further reduce delivery times and service costs.

 

NB5 development aims:

Refine design and components to reduce routine service requirements.
Achieve a machine-fault-downtime of less than 5% annually.
Enhance performance
Facilitate volume production.
Specification:

Beam Voltage range        20kV - 100kV
Feature size on resist      <8nm
Stitching/overlay error    <25nm for 500um field
Automatic loading            5 chuck airlock system

The nB5 system will provide a platform for further development to high deflection speed and further integrated electronics.

 


產(chǎn)品參數(shù)


產(chǎn)品介紹




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