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牛津離子束刻蝕機

價  格:詢價

產  地:更新時間:2021-01-19 15:36

品  牌:型  號:Ionfab 300 IBE

狀  態:正常點擊量:1981

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配送方式: 上海自提或三方快遞

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牛津離子束刻蝕機 Ionfab 300 IBE

離子束刻蝕的靈活性、均勻性俱佳且應用范圍廣。我們的設備具有靈活的硬件選項,包括直開式、單襯底傳送模式和盒式對盒式模式。系統配置與實際應用緊密協調,以確保獲得速率更快且重復性更好的工藝結果。

。多模式功能
。能夠與其它等離子體刻蝕和沉積設備相集成
。單晶圓傳送模式或集群式晶圓操作
。雙束流配置
。更低的表面薄膜粗糙度
。更佳的批次均勻性和工藝重復性
。準確終點監測 —— SIMS,發射光

產品特點:

· 質量薄膜高 ——超低污染

· 產量高,緊湊的系統體積設計 ——運行成本低

· 已獲得的高速襯底架(高達1000RPM)設計,并配備了白光光學監視器(WLOM)——更為準確的實時光學薄膜控制

· 配置靈活 ——適于的研究應用

· 靈活的晶圓操作方式 —— 直開式、單晶圓傳送模式或者帶機械手臂的盒對盒模式

應用:

· 磁阻式隨機存取存儲器(MRAM)

· 介電薄膜

· III-V族光電子材料刻蝕

· 自旋電子學

· 金屬電極和軌道

· 超導體

· 激光端面鍍膜

· 高反射(HR)膜

· 防反射(AR)膜

· 環形激光陀螺反射鏡

· X射線光學系統

· 紅外(IR)傳感器

· II-VI族材料

· 通信濾波器


產品參數


產品介紹



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