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  1 外形尺寸：1200mm*900mm

2 總高度：750mm 左右

3 負(fù)載：400kg 左右

4 固有頻率：2Hz（水平）2.5Hz(垂直)
5 臺(tái)面材料：不銹鋼SUS430，臺(tái)面布M6螺孔陣距25mm×25mm
6 臺(tái)面平整度：≤0.05mm/m2，表面光潔度1.5um
7 自重：190kg 左右
8 振幅：小于 1 um
9 重復(fù)定位精度：±0.10 mm
10 工作壓力：0.2~0.6(Mpa)
11 隔震方式：空氣彈簧隔離器,隔振性能與空氣彈簧的形狀、材質(zhì)，彈簧室的容積與補(bǔ)助罐容積、阻尼孔徑、以及水平調(diào)節(jié)閥，有著相互關(guān)系。
12 自動(dòng)調(diào)水平：水平自動(dòng)調(diào)節(jié)系統(tǒng),為了平臺(tái)上搭載的光學(xué)儀器移動(dòng)或施加重心負(fù)荷時(shí)也能夠始終保持平臺(tái)的水平，安裝有三個(gè)水平自動(dòng)調(diào)節(jié)閥。
13 特點(diǎn)：隔振支撐采用超薄復(fù)合材料氣囊、自定心準(zhǔn)無摩擦球頭擺桿和帶附加擴(kuò)散口的多小孔準(zhǔn)層流阻尼技術(shù)，隔振性能良好。自動(dòng)水平，自動(dòng)充氣，全部氣動(dòng)執(zhí)行元件采用德*FEST0 產(chǎn)品，不含空氣壓縮機(jī)。

CBTZ-3100Z型自動(dòng)對(duì)位探針臺(tái)能
對(duì)晶片實(shí)現(xiàn)自動(dòng)對(duì)位測(cè)試，操作簡(jiǎn)單，
快捷，測(cè)試精度高，具有MAP顯示功
能。它與測(cè)試儀連接后，能自動(dòng)完成
對(duì)各種晶體管芯的電參數(shù)測(cè)試及功能
測(cè)試 。

型號(hào)：