1. 濺射真空室組件1套,球型真空室尺寸Ф300mm，選用真空專用
304#不銹鋼材料制造氬弧焊接，表面進行噴玻璃丸處理。各法
蘭口按超高真空系統設計，采用金屬密封。
2. 采用***套600L/S分子泵+4L/S機械泵通過CF150超高真空閘
板閥進行主抽，通過CF35角閥旁抽。
3. 封接觀察窗2個， Ф100石英玻璃窗口1個(248nm紫外波段，
供激光入射用的)
4. 電磁隔斷放氣閥：（北京）KF40 1臺。
5. 分子泵與機械泵連接金屬波紋管 1套； 機械泵與真空室之間的
旁抽金屬波紋管管路及CF35角閥1套。
6. CF150閘板閥：用于分子泵與真空室隔離。
7. 真空測量及電控系統1套，ZDF數顯復合超高真空計（全部采
用金屬規管） 1臺 。
8. 總控電源：為機械泵、真空計等提供電源，有斷電斷水缺相保護
功能1套。
9. 機架：優質方鋼型材（40mm×40mm×3），焊接成，，四只腳
輪，可固定，可移動。
10. 附件相關規格的金屬密封銅圈，氟橡膠密封圈全套不銹鋼緊固螺
栓、螺母、墊片等；全套無氧銅密封墊圈（相關規格）CF16：3
個；CF35：3個；CF150：2個；CF100:4個；
11.相關的技術資料各類外購件使用說明書：設備結構原理圖及關鍵部件結
構圖（1套）電控系統原理結構圖（1套）裝箱單（1套）設備出廠合
格檢驗證明（1套
11. 工作條件及主要技術參數：供電：～380V三相五線供電系統（容量
5KW）。相對濕度；≤80。
滬公網安備31011502016460號
