Profilm 3D光學輪廓儀
低成本–高精度
Filmetrics讓3D光學輪廓測量的價格變得更加能夠接受。Profilm3D使用zui先進的垂直干涉掃描(WLI)與高精度的相位干涉(PSI)技術。以前所未有的價格實現次納米***的表面形貌研究。
100mm自動XY樣品臺
您還在位每人都希望要的功能而支付額外的費用嗎？我們現在每臺Profilm3D都將100mm自動XY樣品臺，4孔物鏡轉臺和手動調平裝置作為標準配置。
超大的視場范圍
Profilm3D僅用10倍物鏡就提供了達到2mm的超大視場范圍，同時其***大4倍光學變焦的功能緩解了不同應用時切換多個物鏡的需求。這些都進***步降低了采購成本。
1特征值
28 μm臺階高度
3精確度是指每天測量30次10um臺階高度標樣的1次標準差，連續成功測量20天的平均值。環境溫度穩定性小于1°C。
穩定性是指連續成功測量10um臺階高度標樣20天，取每天測量30次數值的平均值，計算2倍標準差。環境溫度穩定性小于1°C。
4所有變焦縮放后的有效像素為648 x 484 (通過數位化的pixel binning實現)
5分開銷售
6樣品上投影的像素大小
7樣品表面粗糙時可測***大傾角將更大
滬公網安備31011502016460號
