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MCQ系列高壓氣體質量流量控制器

價  格:詢價

產  地:更新時間:2021-03-30 17:01

品  牌:其他型  號:

狀  態:正常點擊量:2185

400-006-7520
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上海非利加實業有限公司

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配送方式: 上海自提或三方快遞

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MCQ系列高壓氣體質量流量控制器 性能

  • 可用量程:大0-5000 slpm;小0-10 sccm(欲了解常備量程,請參見零件編號標簽)

  • 可調比:50:1

  • 校準精度(NIST可溯源):±2%滿量程

  • 可重復性:0.2%滿量程

  • 標準控制器響應時間常數:50-100ms

  • 無需預熱時間


產品參數

MCQ系列高壓氣體質量流量控制器 工作條件

  • 兼容氣體:98(MC系列)或130(MCS系列)種預置可選氣體;利用COMPOSER氣體編輯器自定義的其它混合氣體

  • 工作溫度:-10°C至+60°C

  • 大內部壓力(靜態):305 psig(320 psia)

  • 耐受壓力:400 psig(415 psia)

  • STP/NTP:用戶可選(默認為25°C & 1 atm STP/0°C & 1 atm NTP)



產品介紹




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