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MC系列氣體質(zhì)量流量控制器

價(jià)  格:詢價(jià)

產(chǎn)  地:更新時(shí)間:2021-03-30 17:03

品  牌:其他型  號(hào):

狀  態(tài):正常點(diǎn)擊量:2572

400-006-7520
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上海非利加實(shí)業(yè)有限公司

聯(lián) 系 人: 上海非利加實(shí)業(yè)有限公司

電   話: 400-006-7520

傳   真: 400-006-7520

配送方式: 上海自提或三方快遞

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MC系列氣體質(zhì)量流量控制器性能

  • 可用量程:大0-5000 slpm;小0-0.5 sccm/0-500 sμlm(欲了解常備量程,參見零件編號(hào)標(biāo)簽)

  • 可調(diào)比:200:1(MC系列)或100:1(MCS系列)

  • 標(biāo)準(zhǔn)精度(NIST可溯源):±(0.8%讀數(shù)+0.2%滿量程)

  • 高精度(選配,NIST可溯源):±(0.4%讀數(shù)+0.2%滿量程)

  • 可重復(fù)性:0.2%滿量程

  • 標(biāo)準(zhǔn)質(zhì)量流量控制器響應(yīng)時(shí)間常數(shù):50-100ms(若有PID調(diào)節(jié)功能,可縮短至25ms)

  • 無(wú)需預(yù)熱時(shí)間


產(chǎn)品參數(shù)

MC系列氣體質(zhì)量流量控制器工作條件

  • 兼容氣體:98(MC系列)或130(MCS系列)種預(yù)置可選氣體;利用COMPOSER氣體編輯器自定義的其它混合氣體

  • 工作溫度:-10°C至+60°C

  • 大內(nèi)部壓力(靜態(tài)):145 psig(160 psia)

  • 耐受壓力:175 psig(190 psia)


產(chǎn)品介紹

MC系列氣體質(zhì)量流量控制器包裝清單

  • MC系列氣體質(zhì)量流量控制器(電源需另行訂購(gòu))

  • NIST可溯源校準(zhǔn)證書

  • 艾里卡特操作說(shuō)明書

MC系列氣體質(zhì)量流量控制器配件(需另行訂購(gòu))

  • 過程端口接頭和過濾器

  • 電源

  • 通訊線纜和轉(zhuǎn)換線纜

  • BB3和BB9多點(diǎn)式集線盒

  • Flow Vision軟件





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