參數規格
CL系列總體規格特點
重量:
CL-4 50KG左右（帶顯微鏡）
CL-6 60KG左右（帶顯微鏡）
CL-8 80KG左右（帶顯微鏡）
尺寸：
CL-4約 560mm寬*610mm長*550mm高（帶顯微鏡）
CL-6 約600mm長*650mm寬*600mm高（帶顯微鏡）
CL-8 約640mm長*720mm寬*620mm高（帶顯微鏡）
CL系列探針座臺面規格
探針臺臺面平整度：5μm。
CL-4臺面可以同時容納8-10個探針座
CL-6，CL-8分別可以同時容納10-12個探針座
CL-12臺面可以同時容納12個以上探針座
卡盤（載物臺）規格 （可選配鍍金卡盤，高溫加熱卡盤）
卡盤尺寸分為4" ，6"，8"三種
卡盤平整度：5μm，采用空吸附方式吸附，帶空吸附孔，中心孔徑小可做到250微米（可根據客戶需求定制孔徑大小），小可以吸住尺寸為0.3mmX0.3mm，大能夠吸住尺寸為4"X4"（6"X6"，8"X8"）。
卡盤可30度旋轉，方便點測時樣在X-Y軸方向上調平。（根據客戶需要可定制為360度旋轉，旋轉角度可微調，微調精度為0.1度，帶角度鎖定旋鈕）。
卡盤X，Y軸調節旋鈕可以控制卡盤做X-Y方向的移動，移動范圍為4"X4"（6"X6"，8"X8"），移動精度為20um，配合針座的移動可以保證wafer上的die都能夠準確點測到。
滬公網安備31011502016460號
