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手動探針臺

價  格:詢價

產  地:更新時間:2021-05-12 14:34

品  牌:其他型  號:CL-6

狀  態:正常點擊量:2426

400-006-7520
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上海非利加實業有限公司

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電   話: 400-006-7520

傳   真: 400-006-7520

配送方式: 上海自提或三方快遞

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產品參數

參數規格

CL系列總體規格特點                                                                                       

  重量:

         CL-4 50KG左右(帶顯微鏡)

         CL-6 60KG左右(帶顯微鏡)

         CL-8 80KG左右(帶顯微鏡)

  尺寸:

         CL-4約 560mm寬*610mm長*550mm高(帶顯微鏡)  

         CL-6 約600mm長*650mm寬*600mm高(帶顯微鏡)

         CL-8 約640mm長*720mm寬*620mm高(帶顯微鏡)

  

 

CL系列探針座臺面規格

  探針臺臺面平整度:5μm。

  CL-4臺面可以同時容納8-10個探針座

    CL-6,CL-8分別可以同時容納10-12個探針座

    CL-12臺面可以同時容納12個以上探針座

 

卡盤(載物臺)規格  (可選配鍍金卡盤,高溫加熱卡盤)

  卡盤尺寸分為4" ,6",8"三種

卡盤平整度:5μm,采用空吸附方式吸附,帶空吸附孔,中心孔徑小可做到250微米(可根據客戶需求定制孔徑大小),小可以吸住尺寸為0.3mmX0.3mm,大能夠吸住尺寸為4"X4"(6"X6",8"X8")。

  卡盤可30度旋轉,方便點測時樣在X-Y軸方向上調平。(根據客戶需要可定制為360度旋轉,旋轉角度可微調,微調精度為0.1度,帶角度鎖定旋鈕)。

  卡盤X,Y軸調節旋鈕可以控制卡盤做X-Y方向的移動,移動范圍為4"X4"(6"X6",8"X8"),移動精度為20um,配合針座的移動可以保證wafer上的die都能夠準確點測到。


產品介紹



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