探針臺的使用方法
1、 將樣載入空卡盤，開啟空閥門控制開關，使樣安全且牢固地吸附在卡盤上。
2、 使用卡盤X軸/Y軸控制旋鈕移動卡盤平臺，在顯微鏡低倍物鏡聚焦下看清楚樣。
3、 使用卡盤X軸/Y軸控制旋鈕移動卡盤平臺將樣待測試點移動至顯微鏡下。
4、 顯微鏡切換為高倍率物鏡，在大倍率下找到待測點，再微調顯微鏡聚焦和樣x-y，將影像調節(jié)清晰,帶測點在顯微鏡視場中心。
5、 待測點位置確認好后,再調節(jié)探針座的位置,將探針裝上后可眼觀先將探針移到接近待測點的位置旁邊,再使用探針座X-Y-Z三個微調旋鈕,慢慢的將探針移至被測點,此時動作要小心且緩慢，以防動作過大誤傷芯片，當探針針尖懸空于被測點上空時，可先用Y軸旋鈕將探針退后少許，再使用Z軸旋鈕進行下針，后則使用X軸旋鈕左右滑動，觀察是否有少許劃痕，證明是否已經接觸。
6、 確保針尖和被測點接觸良好后，則可以通過連接的測試設備開始測試。
常見問題
當您使用本儀器時，可能會碰到些問題，下表列舉了常見的故障及解決方法。
癥狀 | 可能原因 | 解決方法 |
移動樣后畫面變模糊 | 顯微鏡不垂直 | 調垂直顯微鏡 |
樣臺不水平 | 調水平樣臺 |
樣不平 | |
顯微鏡視場亮度不足，邊緣切割或看不到像 | 轉換器不在定位位置上 | 把轉換器轉到定位位置上 |
管鏡轉盤不在定位位置上 | 把管鏡轉盤轉到定位位置上 |
照明的亮度不足 | 調節(jié)光源亮度或者把孔徑光欄孔調大 |
沒有裝目鏡 | 裝上目鏡 |
沒有裝物鏡 | 裝上物鏡 |
顯微鏡像質變差 | 目鏡臟 物鏡臟 管鏡臟 | 對目鏡，物鏡，管鏡臟的地方進行清潔 |
孔徑光欄關的太大或者太小 | 調節(jié)孔徑光欄 |
沒有調好焦 | 調節(jié)調焦手輪 |
樣本上蓋有蓋玻片等介質 | 移開蓋玻片等介質 |
圖像邊清晰，邊模糊 | 樣本傾斜放置 | 放平樣本，或者調節(jié)樣臺水平 |
物鏡沒有旋緊 | 旋緊物鏡 |
眼睛容易疲勞 | 雙目頭的瞳距和操作者不匹配 | 調節(jié)雙目頭的瞳距 |
| 目鏡視度調節(jié)不正確 | 調節(jié)目鏡視度 |
| 照明亮度不合適 | 調節(jié)光源亮度或者孔徑光欄孔 |
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