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 主要特點

1.      結構簡單、多功能；

2.      平臺配置可滿足DC、RF和亞微米測量；

3.      獨特的模塊化設計可根據客戶的需要配置和升***；

4.      量程大、可配探針配件；

應用

優越的應用靈活性使得M150能滿足DC和RF測量、器件和晶圓表征測試（DWC）、失效分析（FA）、亞微米探測、MEMS和光學工程測量；M150也能用作***個靈活的探頭卡，實現wafer***的可靠性應用（WLR），能同時配備多達20個探針座。

標準平臺規格參數：

  Cascade M150探針臺

  用于實現靈活性和不打任何折扣之精度的新標準

Cascade Microtech 的 M150測量平臺是***款結構簡單、多功能、及高性價比的150mm基準的探針臺，解決了***系列的測量難題。該探針臺采用了***種模塊化設計，提供了眾多的配置可能性，旨在滿足諸如單切晶片至 150mm 晶圓、模塊、印刷電路板組件和微流體芯片等多種器件的精密電測量的需要。M150 可提供三種預配置的探針臺，均針對您的應用及預算而優化。您可以通過確定*適合自己當前需要的 M150 模塊來設計特有的探針臺，或對自己現用的 M150 進行升***以滿足未來的測量需求。